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JCMsuite應用:閃耀光柵
時間:2021-12-21 21:36來源:訊技光電作者: 技術部點擊:打印
這是一維周期線光柵案例的一個變形。它的靈感來自閃耀光柵。在一維線柵的案例中,周期單元晶胞包含通過光柵的二維橫截面。這里的橫截面包含兩個寬度、高度和角度不同的三角形。這些三角形線條位于襯底上,被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
 
光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。同時通過后處理傅里葉變換計算透射衍射級次的振幅。下圖顯示了當波長為193nm時,平面波從襯底側垂直入射到結構內的近場強度。
 
S偏振光照明的近場強度

P偏振光照明的近場強度
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