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F-Theta掃描鏡頭的性能評(píng)估

時(shí)間:2022-08-23 17:46來(lái)源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印

摘要

F-Theta 透鏡通常用于Galvo類掃描儀的激光材料加工系統(tǒng)。對(duì)于這樣的鏡頭，聚焦點(diǎn)沿目標(biāo)平面的位移與鏡頭焦距和掃描角度的乘積成正比。然而，沒(méi)有完美的 F-Theta 系統(tǒng)，因此在任何給定的系統(tǒng)中都會(huì)出現(xiàn)與理想行為的偏差。借助快速物理光學(xué)建模和設(shè)計(jì)軟件 VirtualLab Fusion 中的掃描源，我們通過(guò)測(cè)量不同角度下實(shí)際光斑位置與期望值之間的偏差來(lái)分析給定 F-Theta 透鏡的性能。

任務(wù)描述

系統(tǒng)構(gòu)建模塊 - 掃描光源

可以使用掃描光源定義生成一組在不同方向傳播的截?cái)嗥矫娌ǖ亩嗄９庠础?/div>

用戶可以指定應(yīng)考慮多少模式并定義強(qiáng)度分布。更多信息如下：

如何設(shè)置一個(gè)掃描光源

系統(tǒng)構(gòu)建模塊 – 鏡頭系統(tǒng)組件

鏡頭系統(tǒng)組件允許輕松定義由各種界面組成的組件。可以包括例如：平面、球形和圓柱形界面以及配置它們之間的介質(zhì)。

VirtualLab Fusion技術(shù)系統(tǒng)構(gòu)建塊——參數(shù)耦合

通過(guò)參數(shù)耦合，可以將系統(tǒng)中不同參數(shù)的值聯(lián)系起來(lái)。在此用例中，此功能用于自動(dòng)將探測(cè)器圍繞所需焦點(diǎn)居中。更多信息如下：

VirtualLab Fusion中的參數(shù)耦合

系統(tǒng)構(gòu)建模塊——畸變分析器

實(shí)際焦點(diǎn)位置與參考焦點(diǎn)位置之間的偏差表明了 F-Theta 鏡頭的性能。可以使用畸變分析器計(jì)算此信息。

雖然實(shí)際焦點(diǎn)位置將通過(guò)模擬計(jì)算，但參考焦點(diǎn)位置可以指定為角度本身的線性或其切線。

總結(jié)-組件…

系統(tǒng)印象

性能評(píng)估 – 光斑位置偏差

畸變分析器可以快速估計(jì) F-Theta 鏡頭的性能，可以通過(guò)將場(chǎng)傳播到焦平面來(lái)進(jìn)行驗(yàn)證。

性能評(píng)估 - 光斑直徑測(cè)量

光斑直徑（FWHM）

此外，該結(jié)果可用于對(duì) F-theta 系統(tǒng)產(chǎn)生的斑點(diǎn)進(jìn)行更深入的分析。例如，對(duì)光斑大小的檢查表明，對(duì)于更高的輸入角度，單個(gè)焦點(diǎn)變得越來(lái)越橢圓。

VirtualLab Fusion技術(shù)

文件信息

更多閱覽
- Performance Analysis of Laser Scanning System

- How to Set Up a Scanning Source

- Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion

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