VirtualLab Fusion 軟件可以對光學測量系統進行仿真，如干涉儀、光譜儀以及表面測量器件。
很多光學測量原理都是基于光的波動特性。典型的器件有：
干涉儀
光譜儀&單色儀
表面計量系統
VirtualLab Fusion 軟件可以對這些測量系統進行仿真及公差分析。許多設置都是以衍射效應、干涉效應以及時間和空間相干性為特點。VirtualLab的場追跡引擎進行快速精確的測量系統建模的同時考慮了這些物理光學效應。
VirtualLab Fusion軟件的特性：
基于物理光學的計量系統仿真
包含部分相干和衍射效應
尤其對傾斜和偏移的公差分析
真彩色獲取
便于使用的位置概念
干涉條紋的計算
測繪掃描系統的仿真
全譜段高分辨率分析
用于表面拓撲測量的白光邁克爾遜干涉儀的仿真。整個系統中部分相干的白光可以利用VirtualLab Fusion仿真。
試用軟件和應用示例：
MSY.0003: Czerny-Turner單色儀和光譜儀。( download)
立即 下載VirtualLab Fusion試用版
測量系統(MSY.0001 v1.1)
相干光馬赫澤德干涉儀的仿真
應用示例簡述
1. 系統說明
光源
— 氦氖激光器(波長632.8nm；相干長度>1m)
組件
— 分束器和合束器，消色差準直透鏡系統，位相延遲器，待測球面透鏡
探測器
— 干涉條紋
建模/設計
— 光線追跡：初始系統概覽
— 幾何場追跡加(GFT+)：
由于白光的部分相干性致使條紋對比度降低。
在高度掃描的同時光強發生改變。
2. 系統說明
3. 建模/設計結果
4. 總結
馬赫澤德干涉儀的干涉圖樣的計算
1. 仿真
以光線追跡對干涉儀的仿真。
2. 計算
采用幾何場追跡加引擎以計算干涉圖樣。
3. 研究
不同對齊誤差在干涉圖上的影響，如傾斜和偏移
利用VirtualLab軟件可對馬赫澤德干涉儀生成的干涉圖案進行研究分析。
測量系統(MSY.0002 v1.1)
白光邁克爾遜干涉儀的仿真
應用示例簡述
1. 系統說明
光源
— 氙氣燈(部分相干白光)
組件
— 分束器和合束器，消色差準直透鏡系統，平面反射鏡，待測繪樣品
探測器
— 表現出不同的干涉效應的強度分布
建模/設計
— 光線追跡：初始系統概覽
— 幾何場追跡加(GFT+)：
由于白光的部分相干性，條紋的對比度降低了
當進行高度掃描時，光強發生了變化
2. 系統說明
3. 建模/設計結果
4. 總結
研究了邁克爾遜干涉儀裝置白光干涉圖案并應用于高度輪廓掃描
1. 仿真
用光線追跡對干涉儀的仿真。
2. 計算
采用幾何場追跡+引擎以計算干涉圖樣。
3. 研究
測繪掃描儀的仿真和樣本高度輪廓的測量
利用VirtualLab軟件可對邁克爾遜干涉儀生成的干涉圖案進行研究分析。
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