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光柵的分析和優化(2)

 

減反光柵的設計
 

 可以用二維和三維光柵來設計防反射結構。VirtualLab為光柵和可編程分界面提供了廣泛的模版，為描述用戶自定義光柵結構提供了無限制的靈活性。參數運行和參數優化可用于給定目標函數條件下的結構優化，例如要求反射率最小。 
 

光柵和反射率取決于立柱結構的直徑：反射率最低在140納米處
 

例如枕型亞波長光柵可以被用來控制一個表面的反射率。VirtualLab提供了傅立葉模式法來分析與優化3D光柵結構. 還可對其它更多的參數進行考察，如波長。 
 

偏振光柵的設計
 

光柵可以用來控制透射光的偏振。VirtualLab可以設計這種偏振光柵。
 

對于可見光的光譜（左），用于改變狹縫寬度和矩形光柵的調制深度的最低偏振對比度可以被計算（右）。
 

利用偏振分析器，可以計算可見光的整個光譜范圍的偏振對比度。這使得我們可以對光柵在x軸和電場的y分量之間的對比度進行優化。對于矩形光柵，可以計算出狹縫寬度和調制深度的最優值。
 

光學系統中的光柵
 

光柵也可以用作光學系統，如成像系統或晶圓檢查系統。在這種情況下，光柵被一般的入射光照射。這需要將模型從理想無限的平面波推廣到一般的平面波。
 

成像系統具有一個光柵元件
 

這種系統的模擬是基于VirtualLab場追跡的方法。在一個模擬計算中集合不同的模擬技術。亞波長光柵使用FMM進行嚴格分析。在低發散入射波的情況下可以使用快速的旁軸近似方法。對于特殊的應用可以使用可編程元件來發揮用戶自定義方法的靈活性靈活性。